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논문 기본 정보
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- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.35 No.11
- 발행연도
- 2018.11
- 수록면
- 1,043 - 1,054 (12page)
- DOI
- 10.7736/KSPE.2018.35.11.1043
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We introduce technological development of stencil lithography, for new micro and nano fabricated method as a patterning technique. Stencil lithography has advantages of photoresistless, reusable patterning technique, and large area micro and nano patterning. The principle of stencil lithography is as follows: Materials are deposited through perforated holes on the membrane surface, of stencil in micro and nanoscale. In this paper, the fabrication method and application of three types of stencils, are reviewed according to the material. Solid-state stencils based on silicon, are fabricated by micro-fabrication processing of photolithography and etching. Metal stencils are fabricated by metal etching, electroforming, and laser machining. Polymer stencils are fabricated by molding and casting of polymers, such as PDMS, Hydrogel and Photocrosslinkable polymer, etc. Stencils fabricated from a variety of ways may be applied to nanopatterns, nano-wire patterning, and metal electrode fabrication, and used in metal deposition or etching masks and non-planar surface metal patterning techniques. Stencil lithography is applied in various areas of flexible displays, bio-devices, wearable sensors, etc.
목차
1. 서론
2. 스텐실 리소그래피 공정
3. 실리콘 기반의 스텐실
4. 금속 기반의 스텐실
5. 폴리머 기반의 스텐실
6. 결론
REFERENCES
참고문헌 (74)
참고문헌 신청
Kim, G. and Brugger, J., “Fabrication of Miniaturized Shadow- Mask for Local Deposition,” Journal of Korean Society of Precision Engineering, Vol. 21, No. 8, pp. 152-156, 2004.
Chung, S.-I., Oh, H.-S., and Kim, G.-M., “Fabrication of Nanostencil Using FIB Milling for Nanopatterning,” Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 23, No. 3, pp. 56-60, 2006.
Kim, C.-K., “The Formation of Micro Metal Patterns Using Shadow Mask,” Proc. of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineeres Conference, Vol. 4, pp. 98-99, 2011.
S.-Y. Park, “Development of Cooperative Robots for Assembly Work and Its ROS-Based Control System,” Unpublished master’s thesis, Seoul National University of Science and Technology, Seoul, 2017.
Burger, G., Smulders, E., Berenschot, J. W., Lammerink, T. S., Fluitman, J., et al., “High-Resolution Shadow-Mask Patterning in Deep Holes and Its Application to an Electrical Wafer Feed- Through,” Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 54, Nos. 1-3, pp. 669-673, 1996.
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