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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이형규 (한국표준과학연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.35 No.11
발행연도
2018.11
수록면
1,035 - 1,042 (8page)
DOI
10.7736/KSPE.2018.35.11.1035

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본 논문은 국가측정표준에서 중요한 기여를 하고 있는 MEMS 열전소자에 대해 기술하였다. 교류실효전압은 MEMS 기술로 제작된 PMJCT와 기준 직류전압을 이용하여 정확하게 측정할 수 있으며 이 때문에 MEMS기술로 제작된 PMJTC는 교류실효전압과 직류전압을 연결하는 AC-DC 전달표준으로 사용된다. PMJTC는 교직차로 정의되는 고유 오차를 가지고 있으며 이는 기준 PMJCT와 비교측정을 통해 교정한다. 현재 우리나라는 PMJTC를 이용하여 10 Hz - 1MHz 주파수 대역에서 2 mV<SUB>rms</SUB> 부터 1000 V<SUB>rms</SUB>에 이르는 AC-DC 전달표준을 구현하고 있다.

목차

1. 서론
2. 교류실효전압 표준체계
3. AC-DC 전달표준으로서 TC의 특성
4. MEMS Planar Multi-Junction Thermal Converter(PMJTC)
5. 대한민국의 AC-DC 전달표준 현황
6. 향후 계획
7. 요약
REFERENCES

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