Dual Patterning Process of Block Copolymer Thin Films by the Combination of Top-Down and Bottom-Up Approaches

Jin-Baek Kim; Se-Jin Ku

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Jin-Baek Kim Se-Jin Ku

저널정보: 한국고분자학회 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 한국고분자학회 2006년도 추계학술대회 연구논문 초록집(IUPAC-PSK30)

발행연도: 2006.10

수록면: 97 - 97 (1page)

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Jin-Baek Kim

소속기관 Korea Advanced Institute of Science and Technology

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 제어계측공학 공학 > 화학공학 > 고분자공학

논문수 15 이용수 643

Se-Jin Ku

소속기관 한국고분자학회

주요연구분야 공학 > 화학공학 > 고분자공학

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