Multi-component $ZnO-In_2O_3-SnO_2$ thin films deposited by RF magnetron co-sputtering

Lee ,  Byoung-Hoon ,  Hu 외 11명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2006 .01

DC 마그네트론 스퍼터법에 의한 SnO₂:(Sb, F) 박막의 제조

정영호 ,  신재혁 ,  송국현 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO₄ 박막의 물성 평가

이현준 ,  조상현 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

저온 공정을 이용한 용액 기반 Sb-doped SnO 투명 전도막의 전기적 및 광학적 특성

구본율 ,  안효진

한국재료학회지

2014 .01

Gas Sensing Characteristics of Undoped and Sb-doped Tin Oxide Thin Films by the Sol-gel Spin-coating Technique

Wan-Young Chung ,  이상윤 ,  Jun-Woo Lim 외 1명

Journal of Electrical Engineering and Information Science

1999 .04

반응성 DC sputtering으로 제작한 SnO₂ : Sb 박막의 전기적ㆍ광학적 특성

정해원 ,  이천 ,  신재혁 외 4명

한국표면공학회지

1997 .12

증착 후 진공열처리에 따른 SnO₂ 박막의 특성 변화

송영환 ,  문현주 ,  김대일

열처리공학회지

2016 .01

The Characteristics of Cu₂O Thin Films Deposited Using RF-Magnetron Sputtering Method with Nitrogen-Ambient

Seong Hyun Lee ,  Sun Jin Yun ,  Jung Wook Lim

[ETRI] ETRI Journal

2013 .12

R.F. magnetron Sputtering 법을 이용한 SnO2 박막센서의 제조 및 알코올 감도 특성

강주현 ,  유광수 ,  박상현

센서학회지

2005 .01

반응성 DC 마그네트론 스퍼터법으로 증착된 SnO₂:(Sb, F) 박막의 전기ㆍ광학적 특성

정영호 ,  신재혁 ,  송국현 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

Preparation and properties of SnO₂/Al/SnO₂ multi-layer thin films deposited by Sputtering

Keun Young Pa ,  k ,  Sung Jae Kim 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

RF 마그네트론 스퍼트링법에 의해 제조된 ATO 박막의 전기적 및 광학적 특성

장윤석 ,  강성수 ,  이성호 외 1명

한국안광학회지

2010 .12

ZnO Thin Films Co-Doped Li-Al Grown Using RF Magnetron Sputtering

Jun-Pyo Hong ,  Ki Chang Lee ,  Un Bin Han 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06