Development of a MEMS tilting rotary actuator using electro conductive liquid bearing

나도빈; 서정환

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 나도빈 (홍익대학교) 서정환 (홍익대학교)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 마이크로/나노공학부문 2018년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2018.5

수록면: 53 - 53 (1page)

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#MEMS(멤스) #Tilting Rotary Actuator(틸팅 로터리 액추에이터) #Microfabrication(초미세가공) #Liquid Ring Bearing(액체 링 베어링) #Dielectric Liquid Disk(유전성 액체 디스크)

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