HFCVD 장치의 온도분포 3차원 전산해석과 이색분광법을 이용한 진단

이용희; 송창원; 김광호; 최수석

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이용희 (제주대학교) 송창원 (부산대학교) 김광호 (부산대학교) 최수석 (제주대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2018년 한국진공학회 (제54회 동계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2018.2

수록면: 157 - 157 (1page)

이용수

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