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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
양원백 (한국교통대학교) 임종국 (한국교통대학교) 홍성민 (인하대학교)
저널정보
한국가스학회 한국가스학회지 한국가스학회지 제21권 제6호
발행연도
2017.12
수록면
52 - 60 (9page)

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반도체 제조공정 중 확산공정 배기라인에 “반응 부산물인 ZrO2와 TEMAZ, TMA, O3 등 미반응 물질”과 “퇴적되어 있는 분체”를 제거하여 배관 내 운송효율을 높이고자 히터 자켓을 사용하여 배관온도를 80℃이상으로 올리던 중 진공펌프 후단의 신축배관이 파열되는 사고가 발생하여 사례연구를 진행하였고 사례연구를 통해 동일한 사고가 발생하는 것을 예방하고자 한다. 사고원인을 분석해보면 진공펌프 흡입 측의 틈새발생으로 외부공기 배관유입과 히터 자켓으로 배관을 가열함으로서 미 반응된 TEMAZ가 분해되어 발생하는 가스의 부피팽창으로 배관 내 과압이 발생하였고 배관 중에서도 가장 취약한 벨로우즈에서 파열된 것으로 추정할 수 있다. 이와 같은 사고를 예방하기 위하여 배관파열사고의 원인물질로 추정되는 TEMAZ에 대한 물리적 위험성을 평가하여 배관파열사고의 원인을 규명하고 동종재해를 예방하기 위한 안전대책을 수립하고자 하는데 목적이 있다.
#TEMAZ #heater jacket #diffusion #ARC

목차

요약
Abstract
I. 서론
II. 반도체 제조공정의 특성
III. 연구 방법
Ⅳ. 연구 결과
IV. 결과 분석 및 사고예방대책
V. 결론
References

참고문헌 (11)

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[학술지(정기간행물)] - Shasha Zhang / 2017 / Reactivity of deposited byproducts generated from ZrO2 atomic layer deposition / Journal of Loss Prevention in the Process Industries 45 : 78 ~ 87 google schola [인터넷자원] - / / Occupational Safety & Health Agency google schola [기타자료] - / 2016 / Safety and Health Practice Guide Line / Electronics Manufacturing google schola [인터넷자원] - / / Samsung Semiconductor Story Blog google schola [기타자료] - KOSHA / 2012 / Health care management for semiconductor industry workers google schola

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