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저자정보
이보라 (서강대학교) 윤여원 (서강대학교) 김석범 (서강대학교) 이정철 (서강대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2017년도 학술대회
발행연도
2017.11
수록면
2,913 - 2,917 (5page)

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This paper reports rapid batch fabrication of atomic force microscope (AFM) cantilevers with photocurable polymers using microfluidic polydimethylsiloxane (PDMS) mold assembly. One PDMS mold contains negative base structures and connection microfluidic channels, both of which are simultaneously replicated via single transfer from 250-㎛ thick positive SU-8 (100) patterns on a 4-inch silicon wafer. The other PDMS mold contains negative tip and beam structures replicated via double transfer starting from another 4-inch silicon wafer which is anisotropically etched by potassium hydroxide (KOH) and then 15-㎛ thick negative SU-8 (2015) patterned. After the prepared PDMS mold pair is aligned with a custom PDMS aligner, hydrogel or photocurable polymers that are routinely used in stereolithographytype 3D printers are injected by an electronic pressure regulator into the empty space in the mold assembly. After the mold is fully filled with the photocurable prepolymer, UV (365 nm, 28.8 mW/cm²) is exposed for 10 seconds. Then, the PDMS mold assembly is separated and the cured AFM cantilevers are mechanically detached by using a tweezer. In this way, 40 AFM cantilevers having average tip radius of ~200 nm are simultaneously fabricated. For optical-lever type AFM instruments, thin metal (Ti/Au : 40 nm/80 nm) is deposited selectively near the free end of each cantilever by using a shadow mask. Finally, each polymer cantilever is individualized by using a tweezer and used for AFM imaging.
#Batch fabrication (배치 제작) #Microfluidic (미세 유체) #Mold assembly (몰드 조립체) #Photocurable polymer (광경화성 고분자)

목차

Abstract
1. 서론
2. 제작 공정
3. 제작 및 실험 결과
4. 결론
참고문헌

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