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저자정보
박도연 (Korea Advanced Institute of Science and Technology) 심영출 (Korea Advanced Institute of Science and Technology) 우기영 (Korea Advanced Institute of Science and Technology) 조용훈 (Korea Advanced Institute of Science and Technology)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2017년 한국진공학회 (제53회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2017.8
수록면
201 - 201 (1page)

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