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저자정보
김준동 (한국과학기술연구원) 이현정 (한국과학기술연구원) 안재평 (한국과학기술연구원) 박정희 (고려대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2017년 한국진공학회 (제52회 동계정기학술대회 초록집)
발행연도
2017.2
수록면
461 - 461 (1page)

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