Comparing the Growth Processes of Hexagonal Boron Nitride Using an Ammonia Borane and a Borazine Precursor

한재현; 여종석

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 한재현 (Yonsei University) 여종석 (Yonsei Institute of Convergence Technology)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2017년 한국진공학회 (제52회 동계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2017.2

수록면: 386 - 386 (1page)

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#Hexagonal boron nitride #Chemical vapor deposition #Ammonia borane #Borazine precursor

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Jaehyun Han

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