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Plasma enhanced atomic layer deposition of silicon nitride films using a VHF (162 ㎒) multi-tile push-pull plasma source
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Silicon nitride deposition by VHF (162 MHz)-PECVD using a multi-tile push-pull plasma source
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Plasma enhanced atomic layer deposition of silicon nitride using a VHF (162 MHz) plasma source
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
VHF-PECVD for a-Si:H and a-SiN:H Film Deposition
Applied Science and Convergence Technology
2019 .09
Correlation Analysis of Plasma Properties and Film Properties using Optical Emission Spectroscopy in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes of Silicon Nitride
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Plasma Optical Signal Analysis for SiNx Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Correlation Study between Optical Emission Spectroscopy Signals and Silicon Nitride Film Properties in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Prediction of Silicon Nitride Film Properties by the Analysis of Optical Emission Spectroscopy Signals in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Nitriding process for semiconductor devices by using a multi-electrode VHF (162 MHz) plasma source
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
초고주파 (162 MHz) 다중 분할 전극 플라즈마 소스를 이용한 silicon nitride PEALD 공정연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Correlation Analysis of Plasma Optical Emission Spectra and Silicon Nitride Films Deposited in Inductively Coupled Plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
Effect of hybrid plasma source on O radical generation in oxygen plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Enhanced Anti-reflective Effect of SiNx/SiOx/InSnO Multi-layers using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition System with Hybrid Plasma Source
Applied Science and Convergence Technology
2016 .07
Formation of Graphene-Seeds on Silicon Nitride Using Chemical Vapor Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Spectroscopic Analysis of Effects of Additive Nitrogen on Atmospheric Pressure Ar/HMDS Plasma
Applied Science and Convergence Technology
2023 .09
낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
마이크로스트립 라인을 이용한 마이크로웨이브 플라즈마 기술 및 응용
진공이야기
2020 .09
저온 선형 PECVD를 이용한 OLED용 Encapsulation 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Microwave Plasma Source Optimization for Thin Film Deposition Applications
Applied Science and Convergence Technology
2022 .03
Flexible Plasma Sheets
Applied Science and Convergence Technology
2018 .03
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