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한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Cyclic Dry Etching of SiO₂ using NF₃/H₂ remote plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
Cyclic Dry Cleaning Process of silicon oxide using OF₂/NH₃ Mixture Gas
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Anisotropic Atomic Layer Etching of W by Fluorination-Oxidation Cyclic Process
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
저압과 대기압의 저온 플라즈마를 활용한 표면처리 기술
진공이야기
2020 .09
Improved flame retardant performance of cellulose fibers following fluorine gas treatment
Carbon letters
2018 .01
Plasma 모델링과 시뮬레이션을 위한 웹기반 Plasma Chemistry 데이터베이스
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Effect of hybrid plasma source on O radical generation in oxygen plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
Structural evolution and highly active reaction in direct plasma process on 4H-SiC
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Plasma-induced reaction at plasma-liquid and plasma-polymeric film interface by AC-driven atmospheric pressure plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Flexible Plasma Sheets
Applied Science and Convergence Technology
2018 .03
Plasma Properties Data Center Activities for Plasma Application in the National Fusion Research Institute
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Surface Treatment of a Titanium Implant using a low Temperature Atmospheric Pressure Plasma Jet
Applied Science and Convergence Technology
2016 .05
마이크로스트립 라인을 이용한 마이크로웨이브 플라즈마 기술 및 응용
진공이야기
2020 .09
Characteristics of SiO₂ Etching in a C4F8/Ar/O₂ pulse modulation capacitively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Plasma Farming : Comprehensive Plasma Application to Agriculture
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Challenges and Solution on Large Scale of Atmospheric Pressure Plasma for Environmental Plasma Applications
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
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