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저자정보
Timoshenkov Sergey (National Research University of Electronic Technology) Kalugin Victor (National Research University of Electronic Technology) Damir Mukimov (National Research University of Electronic Technology) Natalya Korobova (National Research University of Electronic Technology)
저널정보
한국정보통신학회 INTERNATIONAL CONFERENCE ON FUTURE INFORMATION & COMMUNICATION ENGINEERING 2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON FUTURE INFORMATION & COMMUNICATION ENGINEERING Vo.6 No.1
발행연도
2014.6
수록면
267 - 270 (4page)

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In this work the construction of MEMS sensor with the capacitive motion detection system was analyzed from the point of view on possible technological errors and their impact on the parameters of future micromechanical device. Methodological errors that lead to deviation of the elements proportions as well as instrumental errors, resulting in axial and angular symmetry distortion of the MEMS elements were studied. The effect of these errors on the geometry and parameters of the resulting micro-mechanical components was studied and analyzed using the finite element analysis and such simulation software as ANSYS ED. The value of mechanical and electric parameters changes was counted and provided as dependence curves. The importance of the proper technological conditions for reducing the production errors was rated.
#MEMS #Sensor #Geometric errors #Technology

목차

Abstract
I. INTRODUCTION
II. CONSTRUCTION
III. EFFECT OF THICKNESS DEVIATION OF THE INITIAL WAFER
IV. THE EFFECT OF THE GAP BETWEEN MOVABLE AND STATIC PARTS OF MICROMECHANICAL ELEMENT
V. TOPOLOGY FIGURE SHIFTING EFFECT ON THE FRONT- AND BACKSIDE OF THE WAFER
VI. CONCLUSION
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