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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2014.12
- 수록면
- 7,283 - 7,286 (4page)
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디스플레이를 위한 반도체 절연막으로 적합한 SiOC 박막의 특성을 살펴보기 위해서 스퍼터를 이용한 SiOC 박막을 증착하고 전기적인 특성을 조사하였다. SiOC 박막의 절연성은 열처리 온도에 따라서도 달라졌으며, 100도에서 열처리한 박 막의 두께는 증가하고 굴절률은 감소하였으며, XRD의 비정질 특성이 높아지고, 커패시턴스의 감소와 누설전류가 감소하는 특성이 관찰되었다. SiOC 박막의 누설전류 감소의 특성은 절연막으로서의 특성이 개선되고 있다는 것을 의미하며, 두께의 증가현상 또한 누설전류가 감소할 수 있는 조건을 잘 만들고 있었다. 분극의 감소에 의한 비정질의 특성은 SiOC박막을 구성 하고 있는 원자 간의 배열이 불규칙적으로 변하고 원자 사이의 결합길이가 최대한 길어지면서 이루어졌기 때문이며, 따라서 두께가 증가하였다. 100도에서 열처리 한 박막에서 두께가 증가하였으며, 누설전류가 감소하였다. 스퍼터에 의한 SiOC 박막 의 100도 온도에 의한 극적인 누설전류의 감소는 저온공정이 필수적인 디스플레이용 반도체소자에서 적합한 절연막 임을 확인할 수 있었다.
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1. [학술지(정기간행물)] - S. Fernandez / 2009 / Radio frequency sputter deposition of high quality conductive and transparent ZnO:Al films on polymer substrates forthin film solar cells application / Thin Solid Films 517 : 3152 ~ 3156
2. [학술지(정기간행물)] - 김민수 / 2011 / Thickness Dependence of Properties of ZnO Thin Films on Porous Silicon Grown by Plasma-assisted Molecular Beam Epitaxy / Journal of the Korean Physical Society 59 (3) : 2354 ~ 2361
3. [학술지(정기간행물)] - Kyoungchul Shin / 2004 / The structure and photoluminescence properties of Al:ZnO/porous silicon / Journal of the Korean Physical Society 45 (2) : 1288 ~ 1291
4. [학술지(정기간행물)] - Tae Eun PARK / 2004 / Structural and Optical Properties of ZnO Thin Films Grown by RF Magnetron Sputtering on Si Substrates / Journal of the Korean Physical Society 45 (3) : 697 ~ 700
5. [학술지(정기간행물)] - T. Oh / 2006 / Organic thin film transistors using pentacene and SiOC film / IEEE transactions on Nanotechnology 5 : 23 ~ 28
2. [학술지(정기간행물)] - 김민수 / 2011 / Thickness Dependence of Properties of ZnO Thin Films on Porous Silicon Grown by Plasma-assisted Molecular Beam Epitaxy / Journal of the Korean Physical Society 59 (3) : 2354 ~ 2361
3. [학술지(정기간행물)] - Kyoungchul Shin / 2004 / The structure and photoluminescence properties of Al:ZnO/porous silicon / Journal of the Korean Physical Society 45 (2) : 1288 ~ 1291
4. [학술지(정기간행물)] - Tae Eun PARK / 2004 / Structural and Optical Properties of ZnO Thin Films Grown by RF Magnetron Sputtering on Si Substrates / Journal of the Korean Physical Society 45 (3) : 697 ~ 700
5. [학술지(정기간행물)] - T. Oh / 2006 / Organic thin film transistors using pentacene and SiOC film / IEEE transactions on Nanotechnology 5 : 23 ~ 28
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