지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2014.12
- 수록면
- 6,980 - 6,985 (6page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
레이저 직접묘화방법을 이용하여 절연기판(SiO₂)위에 미세전도성패턴을 제조하였다. 레이저 유도증착공정은 레이저 빔이 금속박막에 조사되면 레이저 빔의 빛 에너지가 금속박막에 흡수되어 열에너지로 바뀌면서 열전도에 의한 열분해반응으 로 기판위에 증착이 일어난다. 본 논문에서는 금속박막위에 폴리머 코팅을 하여 레이저 직접묘화공정을 적용하여 미세패턴 과 3차원 마이크로 구조물 제조에 관한 연구를 수행하였다. 평균 증착율은 전반적으로 레이저출력이 높을 수록 선형적으로 증가하고, 빔 스캔 속도가 감소할수록 증착율은 증가한다는 것을 확인하였다. Polymer 코팅층을 이용하여 미세전극을 증착 하여 비저항값을 측정하여, 코팅층을 사용한 경우의 전기전도도가 코팅을 하지 않은 경우보다 약 3배정도 향상되는 것을 확인할 수 있었다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (8)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - J. H. Lee / 2000 / A Study on Fabrication of Conductor Patterns on AIN Ceramic Surface by Laser Direct Writing / J. of KSLP 3 (2) : 25 ~ 33
2. [학술지(정기간행물)] - 이봉구 / 2010 / Characteristics of 3D Microstructures Fabricated using a Modified LIFT Process / Metals and Materials International 16 (6) : 1019 ~ 1027
3. [학술지(정기간행물)] - 신보성 / 2006 / Rapid Manufacturing of 3D Micro-products using UV Laser Ablation and Phase-change Filling / International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 7 (3) : 56 ~ 59
4. [학술지(정기간행물)] - 양동열 / 2007 / Additive Process using Femto-second Laser for Manufacturing Three-dimensional Nano/ Micro-structures / International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 8 (4) : 63 ~ 69
5. [학술지(정기간행물)] - H. Yamada / 2002 / Optimization of Laser-Induced Forward Transfer Process of Metal Thin Films / Appl. Surf. Sci 197-198 : 411 ~ 415
2. [학술지(정기간행물)] - 이봉구 / 2010 / Characteristics of 3D Microstructures Fabricated using a Modified LIFT Process / Metals and Materials International 16 (6) : 1019 ~ 1027
3. [학술지(정기간행물)] - 신보성 / 2006 / Rapid Manufacturing of 3D Micro-products using UV Laser Ablation and Phase-change Filling / International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 7 (3) : 56 ~ 59
4. [학술지(정기간행물)] - 양동열 / 2007 / Additive Process using Femto-second Laser for Manufacturing Three-dimensional Nano/ Micro-structures / International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 8 (4) : 63 ~ 69
5. [학술지(정기간행물)] - H. Yamada / 2002 / Optimization of Laser-Induced Forward Transfer Process of Metal Thin Films / Appl. Surf. Sci 197-198 : 411 ~ 415
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-505-001093731