지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2014.3
- 수록면
- 1,707 - 1,710 (4page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
본 논문은 실리콘 원료의 용융과 방향성 응고에 의해 결정성이 양호한 방향성 응고에 대한 연구이다. 방사 화 분석 결과 총 10가지 금속 불순물이 검출 되었지만, 농도 분포는 같은 위치에서 위와 아래의 차이는 크게 나지 않고, 어떤 특정한 위치에서 한쪽으로 집중되거나 어떤 경향성 없이 전체의 샘플의 모든 부분에서 농도가 거의 일정 하게 분포를 나타냈다. 열 해석 시뮬레이션에 의한 결과, 용융은 유지 시간이 80분일 때 실리콘이 전체적으로 고르게 용융 온도에 도달하였고 냉각은 상부 냉각 온도가 1,400℃와 60분 냉각 시 가장 좋은 결과 값을 나타내었다. 제작된 웨이퍼가 기존의 상용 웨이퍼보다 결정립계에서의 에칭이 훨씬 적게 이루어졌다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (7)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - H.Hartwig / 1974 / / J. Vac. Sci. Technol. 11 : 1154 ~
2. [단행본] - J. M. Lafferty / 1998 / Foundation of Vacuum Science and Technology / JHON WIERY & SONS
3. [단행본] - D. M. Hoffman / 1998 / Handbook of Vacuum Science and Technology / ACADEMIC PRESS
4. [단행본] - Gerhard Lewin / / An Elementary introduction to vacuum technique / Education Committee of the American Vacuum Society
5. [기타자료] - / 1991 / Studt, R&D Magazine, October 1991 / Design Away Those Tough Vacuum System Riddles : 104 ~
2. [단행본] - J. M. Lafferty / 1998 / Foundation of Vacuum Science and Technology / JHON WIERY & SONS
3. [단행본] - D. M. Hoffman / 1998 / Handbook of Vacuum Science and Technology / ACADEMIC PRESS
4. [단행본] - Gerhard Lewin / / An Elementary introduction to vacuum technique / Education Committee of the American Vacuum Society
5. [기타자료] - / 1991 / Studt, R&D Magazine, October 1991 / Design Away Those Tough Vacuum System Riddles : 104 ~
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-505-001118564