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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.4
- 수록면
- 1,915 - 1,920 (6page)
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본 논문은 열 해석 시뮬레이션과 주조로의 구조 변경을 통한 실리콘 잉곳의 방향성 응고에 대한 연구이다. 열 해석 시뮬레이션에 의한 결과, 용융은 유지 시간이 80분일 때 실리콘이 전체적으로 고르게 용융 온도에 도달하였 고 냉각은 상부 냉각 온도가 1,400℃와 60분 냉각 시 가장 좋은 결과 값을 나타내었다. 제작된 웨이퍼가 기존의 상용 웨이퍼보다 결정립계에서의 에칭이 훨씬 적게 이루어졌다. FTIR 측정결과 산소와 탄소 모두 모두 임계값 이하의 불 순물로 존재함을 확인하였다. NAA 분석 결과 총 18가지 금속 불순물이 검출 되었지만, 농도 분포는 같은 위치에서 위와 아래의 차이는 크게 나지 않고, 어떤 특정한 위치에서 한쪽으로 집중되거나 어떤 경향성 없이 전체의 샘플의 모 든 부분에서 농도가 거의 일정하게 분포를 나타냈다.
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참고문헌 (6)
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1. [단행본] - Ministry of Knowledge Economy / 2010 / Korea Energy Management Corporation New & Renewable Energy, 2010 New & Renewable Energy / Ministry of Knowledge Economy
2. [학술지(정기간행물)] - D. L. Staeble / 1977 / Recersible conductivity changes in discharge-produced amorphous Si / J. Appl. Phys. Lett. 31 : 292 ~ 294
3. [단행본] - Lee Jun Shin / 2007 / Solar Cell Engineering / Green book pubilishing : 96 ~ 100
4. [학술지(정기간행물)] - J.W. Shur / 2011 / Growth of multi-crystalline silicon ingot by improved directional solidification process based on numerical simulation / Solar Energy Materials & Solar Cells 95 : 3159 ~ 3164
5. [학술지(정기간행물)] - Dae il Kim / 2006 / Characteristics of structural defects in the 240kg silicon ingot grown by directional solidification process / Solar Energy Materials & Solar Cells 90 : 1666 ~ 1672
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3. [단행본] - Lee Jun Shin / 2007 / Solar Cell Engineering / Green book pubilishing : 96 ~ 100
4. [학술지(정기간행물)] - J.W. Shur / 2011 / Growth of multi-crystalline silicon ingot by improved directional solidification process based on numerical simulation / Solar Energy Materials & Solar Cells 95 : 3159 ~ 3164
5. [학술지(정기간행물)] - Dae il Kim / 2006 / Characteristics of structural defects in the 240kg silicon ingot grown by directional solidification process / Solar Energy Materials & Solar Cells 90 : 1666 ~ 1672
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