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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.10
- 수록면
- 2,628 - 2,633 (6page)
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초소형 전자 칼럼에서 이중 편향기는 칼럼의 왜곡 수차의 최소화 및 FOV(field of view)의 극대화 효과를 위 하여 사용하고 있다. 이러한 효과를 관찰하기 위하여 이중 편향기에 서로 반대로 전압을 인가한 상태에서 FOV와 주 사 폭의 변화에 대한 실험을 진행하였으며, 최대 FOV와 주사 폭에 대한 적정 조건을 얻기 위한 각 편향기의 인가 전압과 전자 방출 팁 전압의 관계를 조사하였다. 또한 전자 방출 팁 전압에 의한 줌 기능의 선형성과 줌 한계를 측정 하여 분석하였다.
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1. [학술지(정기간행물)] - E. Kraschmer / 1994 / Sub-40nm resolution 1keV scanning tunneling microscope field-emission Microcolumn / J. Vac. Sci. Technol B12 (6) : 3413 ~ 3417
2. [학술지(정기간행물)] - E. Kratschmer / 1995 / An electron-beam microcolumn with improved resolution, beam current, and stability / J. Vac. Sci. & Technol B 13 : 2498 ~ 2503
3. [학술지(정기간행물)] - E. Kratschmer / 1996 / Experimental evaluation of a 20x20 mm footprint microcolumn / J. Vac. Sci. Technol B14 : 3792 ~ 3796
4. [학술지(정기간행물)] - 안승준 / 2007 / Monte Carlo 수치해석법을 이용한 PMMA resist에서의 저 에너지 전자빔 투과 깊이에 관한 연구 / 한국산학기술학회논문지 8 (4) : 743 ~ 747
5. [학술지(정기간행물)] - 김영철 / 2008 / 초소형 자유전자 레이저 모듈에 대한 특성 연구 / 한국산학기술학회논문지 9 (6) : 1607 ~ 1613
2. [학술지(정기간행물)] - E. Kratschmer / 1995 / An electron-beam microcolumn with improved resolution, beam current, and stability / J. Vac. Sci. & Technol B 13 : 2498 ~ 2503
3. [학술지(정기간행물)] - E. Kratschmer / 1996 / Experimental evaluation of a 20x20 mm footprint microcolumn / J. Vac. Sci. Technol B14 : 3792 ~ 3796
4. [학술지(정기간행물)] - 안승준 / 2007 / Monte Carlo 수치해석법을 이용한 PMMA resist에서의 저 에너지 전자빔 투과 깊이에 관한 연구 / 한국산학기술학회논문지 8 (4) : 743 ~ 747
5. [학술지(정기간행물)] - 김영철 / 2008 / 초소형 자유전자 레이저 모듈에 대한 특성 연구 / 한국산학기술학회논문지 9 (6) : 1607 ~ 1613
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