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한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제10권 제1호
발행연도
2009.1
수록면
6 - 11 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

클린룸 내 롤러 컨베이어 운송장치 주위의 유동해석
전현주 ,  박찬우 ,  임익태 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2009.06 학술대회자료
평면 디스플레이 기판 운송용 롤러 컨베이어 주위의 유동장에 관한 수치해석 연구
전현주 ,  김형진 ,  임익태 한국산학기술학회 논문지 2009.01 학술저널

초록· 키워드

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본 논문에서는, 청정지역내에서 다수의 유리 기판을 적재하여 반송하는 롤러 컨베이어 시스템에서, 롤러와 카세트 사이의 기계적 마찰로 인해 발생하는 오염입자에 의한 유리 기판의 오염여부를 판단하기 위해, 시스템 내부의 유동장을 전산유체역학 기법을 통해 해석하였다. 수치해석 결과 일정 속도로 이동하는 카세트 하부에 큰 와류가 생성 되는 것을 확인하였다. 그러나 이 와류는 후면에서 유입되는 강한 기류와, 상부 FFU에서 공급되어 하부로 배기되는 기류로 인해, 카세트의 하부 영역에만 갇히게 되는 것으로 나타났다. 따라서 카세트와 롤러 사이의 기계적 마찰로 인해 오염입자가 발생하여도 상부로 이동할 수 없어 유리 기판의 오염 가능성은 낮았다. 또한 이동속도가 빨라짐에 따라 유리 평판 사이의 공기 유동의 방향이 평판의 점성 전단력에 의해 역방향으로 바뀌게 됨을 확인하였다.
#Clean room #Computational fluid dynamics(CFD) #Roller conveyor system #Fan filter unit(FFU) #Flat panel display(FPD)

목차

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참고문헌 (10)

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1. [학술지(정기간행물)] - 오명도 / 1990 / 초청정 클린룸 난류유동장내에서의 오염입자 비정상 전파거동에 관한 연구 / 대한기계학회논문집 14 (2) : 430 ~ 439 dbpia 2. [학술지(정기간행물)] - 이재헌 / 1993 / 부분적인 필터교체에 따른 청정실 내부의 유동특성 / 대한기계학회논문집 17 (8) : 2110 ~ 2121 dbpia 3. [학술지(정기간행물)] - 김연희 / 2006 / 난류형 클린룸내의 Layout 변화에 따른 분진제거 특성에 관한 연구 / 한국안전학회지 21 (5) : 46 ~ 52 dbpia 4. [학술지(정기간행물)] - Ik-Tae Im / 2006 / Numerical study on the air-cushion glass transportation unit for LCD panels / 반도체 및 디스플레이장비 학회지 5 (1) : 27 ~ 31 dbpia 5. [학술지(정기간행물)] - 임익태 / 2007 / Numerical Study on the Air-Cushion Unit for Transportation of Large-Sized Glass Plate / 반도체디스플레이기술학회지 6 (1) : 59 ~ 64 google schola

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