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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.6
- 수록면
- 580 - 586 (7page)
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본 연구는 재료 특성에 있어 세구조의 연속성을 예측한 것이다. 예측은 미세구조에서 사용되는 제작 재료의 동적 응답 분포를 측정해서 만들어졌다. 분포되는 재료 특성들이 미세구조의 기계적 성능을 평가하는데 사용될 때， 미세구조에 대한 컴퓨터 시뮬레이션과 실험결과의 차이를 줄일 수 있고 신뢰성 설계가 이루어질 수 있다.
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참고문헌 (12)
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1. [학술지(정기간행물)] - Lee, D. C / 2005 / A compensation of Young’s modulus in polysilicon structure with discontinuous material distribution / Material Letters 59 (29) : 3900 ~ 3903
2. [학술지(정기간행물)] - Sharpe, W. N. Jr / 1997 / A new technique for measuring the mechanical properties of thin films / Journal of Microelectromechanical systems 6 (3) : 193 ~ 198
3. [학술지(정기간행물)] - Osterberg, P. M / 1997 / M-test; A test chip for MEMS material property measurement using electrostatically actuated test structures / Journal of Microelectromechanical systems 6 (2) : 107 ~ 118
4. [학술지(정기간행물)] - Bendsoe, M. P / 1988 / Generating optimal topologies in structural design using a homogenization method / Computer Methods in Applied Mechanics & Engineering 71 : 197 ~ 244
5. [학술지(정기간행물)] - Bendsoe, M. P. / 1989 / Optimal shape design as a material distribution problem / Structural Optimization 1 : 193 ~ 202
2. [학술지(정기간행물)] - Sharpe, W. N. Jr / 1997 / A new technique for measuring the mechanical properties of thin films / Journal of Microelectromechanical systems 6 (3) : 193 ~ 198
3. [학술지(정기간행물)] - Osterberg, P. M / 1997 / M-test; A test chip for MEMS material property measurement using electrostatically actuated test structures / Journal of Microelectromechanical systems 6 (2) : 107 ~ 118
4. [학술지(정기간행물)] - Bendsoe, M. P / 1988 / Generating optimal topologies in structural design using a homogenization method / Computer Methods in Applied Mechanics & Engineering 71 : 197 ~ 244
5. [학술지(정기간행물)] - Bendsoe, M. P. / 1989 / Optimal shape design as a material distribution problem / Structural Optimization 1 : 193 ~ 202
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