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한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제1권 제2호
발행연도
2000.12
수록면
33 - 40 (8page)

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본 연구는 반도체 크린룸에서 VOC(volatile organic compound)과 수분을 제거하기 위한 흡착로타에 관한 것이다. 흡착로타는 세라믹 페이퍼 허니컴 기질에 NaX 제올라이트와 TS-1 제올라이트로 만들어졋다. NaX 제올라이트는 수열합성법으로 합성되어졌으며 NaX 제올라이트 결정(2~3 ㎛)을 seed로 합성 조성에 3~15 wt%까지 첨가하여 5 ㎛의 균일한 NaX 제올라이트를 성장시켰다, Seed의 첨가는 seed를 첨가하지 않은 합성용액과 비교하여 결정의 크기가 크며. 균일한 NaX 제올라이트 결정은성곡적으로 합성하였다. TS-1 제올라이트는 초기 반응액의 pH를 변화시켜 합성하였다. 반응물의 pH는 10.0에서 11.5까지의 범위를 가지며. pH 10.4에서는 큰 기공(8~10 Å)을 가진 TS-1 제온라이트를 가진 TS-1 제올라이트(ETS-10)가 합성되는 반면 pH가 11.5에서는 작은 기공(3~5 Å)을 갖는 TS-1 제올라이트(ETS-4)가 합성되었다.
#pH #NaX zeolite #Seed #Crystal size #TS-l zeolite #Ceramic rotor

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