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한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제1권 제1호
발행연도
2000.6
수록면
33 - 36 (4page)

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대형 진공증착기내에 대형 피코팅물 고정대를 방사형으로 배치고 대용량의 피코팅물이 균일하게 코팅되도록 공전과 자전을 병행하도록 하여, 1회 진공으로 피코팅물의 양변을 동시에 코팅하므로 증착시간을 절역하고 전력소비를 줄일 수 있으며 대기중 이물질에 의한 오염방치를 할 수 있었다. 내부에 이중 전자빔을 설치하여 자동 다층막 증착이 가능하며， 유효증착면적을 크게할 수 있었다. 이런 장치를 이용하여 증착 시간의 30% 단축, 작업 생산성 50% 향상과 아울러 증착막의 전도막 특성도 향상되었으며 증착막의 균일도도 향상되었다. 증착막의 광학적 특성인 반사벙지 투과율 특성도 향상되었다.
#Anti-reflection filter #Coating system #Multi coaling

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