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윤류리 (서울과학기술대학교) 김성만 (미국 텍사스 A&M 대학) 한아름 (미국 텍사스 A&M 대학) 조영학 (서울과학기술대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.34 No.5
발행연도
2017.5
수록면
343 - 347 (5page)

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In this paper, we propose a simple and low-cost fabrication method for PMMA (Poly (Methyl Methacrylate)) acoustophoretic microfluidic chips using plasma-assisted bonding followed by MEMS (Microelectromechanical Systems) processes. A metal mold for replicating the PMMA polymer was fabricated using MEMS processes, and the microfluidic channel was imprinted on the PMMA polymer using a hot-embossing process. The closed fabricated microfluidic channel was achieved by means of the plasma-assisted bonding between the PMMA channel and the flat PMMA cover. The plasma treatment and hot-embossing conditions for PMMA-PMMA bonding were studied and evaluated. The particle separation test confirmed that the PMMA acoustophoretic microfluidic chips could be used. We expect the Si-based acoustophoretic microfluidic chip to be replaced by the presented polymer chip in such applications as blood or droplet separation.
#Acoustophoretic chip (음파영동 칩) #Acoustic standing wave (정상음향파) #Hot-embossing process (핫엠보싱 공정) #Plasma assisted bonding (플라즈마 본딩) #Particle separation (입자분리)

목차

1. 서론
2. 실험장치 구성 및 방법
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
ACKNOWLEDGEMENT
REFERENCES

참고문헌 (15)

참고문헌 신청
Wiklund, M., “Acoustofluidics 12: Biocompatibility and Cell Viability in Microfluidic Acoustic Resonators,” Lab on a Chip, Vol. 12, No. 11, pp. 2018-2028, 2012. Lin, S.-C. S., Mao, X., and Huang, T. J., “Surface Acoustic Wave (SAW) Acoustophoresis: Now and Beyond,” Lab on a Chip, Vol. 12, No. 16, pp. 2766-2770, 2012. Nam, J., Lim, H., Kim, D., and Shin, S., “Acoustic Device for Selective Platelet Extraction from Whole Blood,” Proc. of the 15th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, pp. 1326-1328, 2011. Petersson, F., Nilsson, A., Holm, C., Jonsson, H., and Laurell, T., “Continuous Separation of Lipid Particles from Erythrocytes by Means of Laminar Flow and Acoustic Standing Wave Forces,” Lab on a Chip, Vol. 5, No. 1, pp. 20-22, 2005. Leibacher, I., Reichert, P., and Dual, J., “Microfluidic Droplet Handling by Bulk Acoustic Wave (BAW) Acoustophoresis,” Lab on a Chip, Vol. 15, No. 13, pp. 2896-2905, 2015.

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