메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
Yeonwon Kim (Mokpo National Maritime University) Jun Kang (Korea Maritime and Ocean University)
저널정보
한국마린엔지니어링학회 Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET) 한국마린엔지니어링학회지 제41권 제2호
발행연도
2017.2
수록면
146 - 149 (4page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
Si clusters generated during the plasma chemical vapor deposition (CVD) process have a great influence on the quality of the fabricated films. In particular, in hydrogenated amorphous silicon thin films (a-Si:H) used for thin film solar cells, Si clusters are mainly responsible for light-induced degradation. In this study, we investigated the amount of clusters incorporated into thin films using a quartz crystal microbalance (QCM) and specially designed cluster eliminating filters, and investigated the effect of the DC grid mesh in preventing cluster incorporation. Experimental results showed that as the applied voltage of the grid mesh, which is placed between the electrode and the QCM, decreased, the number of clusters incorporated into the film decreased. This is due to the electrostatic force from the grid mesh bias, and this method is expected to contribute to the fabrication of high-quality thin films by preventing Si cluster incorporation.
#Cluster #Amorphous silicon #Plasma CVD #Light-induced degradation

목차

Abstract
1. Introduction
2. Experimental Method
3. Results and Discussion
4. Conclusions
References

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
P. Boeuf, Ph. Belenguer, and T. Hbid, “Plasma par ticle interactions,” Plasma Sources Science and Technology, vol. 3, pp. 407-417, 1994. D. M. Tanenbaum, A. L. Laracuente, and A. Gallagher, “Nanoparticle deposition in hydrogenated amorphous silicon films during rf plasma deposition,” Applied Physics Letters, vol. 68, no. 12, pp. 1705-1707, 1996. M. Shiratani, S. Maeda, K. Koga, and Y. Watanabe, “Effects of Gas Temperature Gradient, Pulse Discharge Modulation, and Hydrogen Dilution on Particle Growth in Silane RF Discharges,” Japanes Journal of Applied Physics, vol. 39, no. 1, pp. 287-293. S. Nunomura, I. Yoshida, and M. Kondo, “Time -dependent gas phase kinetics in a hydrogen diluted silane plasma,” Applied Physics Letter, vol. 94, no. 7, p. 071502, 2009. K. Koga, N. Kaguchi, M. Shiratani, and Y. Watanabe, “Correlation between volume fraction of clusters incorporated into a-Si:H films and hydrogen content associated with Si?H2 bonds in the films,” Journal of Vacuum Science & Technology A, vol. 22, no. 4, pp. 1536-1539, 2004.

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

Structure modifications of crankcase explosion relief valve for cost savings in large ship engines
Jong-Hwan Kim ,  Sung-Wook Kang ,  Kyeong-Ju Kong Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET) 2021 .06
High expansion cycle for marine 2-stroke engine
Hyun-Min Baek ,  Jin-Uk Lee ,  Ji-Woong Lee Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET) 2021 .06
영상분할법을 이용한 강판상의 부식 감지
김범수 ,  김연원 ,  양정현 한국표면공학회지 2021 .04
Spectroscopic diagnostics and silicon cluster formation in silane plasmas
Yeonwon Kim Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET) 2020 .06

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2017-559-002325863