영구자석 혼합형 자기부상 반송장치의 제어

김기정; 김창현

doi:10.14801/jkiit.2017.15.1.55

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김기정 (충남대학교) 김창현 (한국기계연구원)

저널정보: 한국정보기술학회 한국정보기술학회논문지 한국정보기술학회논문지 제15권 제1호(JKIIT, Vol.15, No.1)

발행연도: 2017.1

수록면: 55 - 62 (8page)

DOI: 10.14801/jkiit.2017.15.1.55

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최근 반도체나 LCD 유리기판의 공정 이송 중에 분진과 진동을 최소화하기 위하여 기계적 접촉이 없는 자기부상 기술의 적용이 시도되고 있다. 특히, 신뢰성을 요하는 반도체 시스템에서 자기부상 반송장치를 사용하기 위해서는 안정한 부상성능 및 초정밀 위치제어가 요구된다. 본 논문에서는 자기부상에 의한 비접촉 자기부상 반송장치를 제작하고 그 제어방법에 대해 다룬다. 제작과 실험을 통해 전자석과 영구자석 복합식 부상방법을 이용하여 전력소모를 줄일 수 있도록 하였으며, 선형 유도 전동기를 이용하여 추진하고 비접촉 전력공급장치를 이용하여 완전한 비접촉 방식을 구현하였다. 반송장치의 부상 안정성과 추진제어 추종성에 대한 모의해석과 실험을 통해 설계된 제어기의 타당성을 검증하였다.

#control #electromagnetic levitation #EM-PM hybrid type #maglev conveyor

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Y. K. Tzeng and T. C. Wang, Dynamic analysis of the maglev system using controlled-pm electromagnets and robust zero?power-control strategy, IEEE Trans on Magnetics, Vol. 31, No. 6, pp. 4211-4213, Jun. 1995. M. Morishita, T. Azukizawa, S. Kanda, N. Tamura, and T. Yokoyama, A new maglev system for magnetically levitated carrier system, IEEE Trans. on Vehicular Technology, Vol. 38, No. 4, pp. 230-236, Apr. 1989. Y. H. Kim, K. M. Kim, and J. Lee, Zero power control with load observer in controlled-pm levitation, IEEE Trans. on Magnetics, Vol. 37, No. 4, pp. 116-132, Apr. 2001 T. Mizuno and Y. Takemori, A transfer-function approach to the analysis and design of zero-power controllers for magnetic suspension systems, Electrical Engineering in Japan, Vol. 141, No. 2, pp. 67-75, Feb. 2002. K. J. Kim, H.S. Han, and S. J. Yang, Analysis of Dynamic Interaction Between Maglev Vehicle and Guideway, Trans. Korean Soc. Mech. Eng A, Vol. 37, No. 4, pp. 581-587, Dec. 2013.

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