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저자정보
Jo ONODA (University of Tokyo) Martin ONDRACEK (Academy of Sciences of the Czech Republic) Pavel JELINEK (Academy of Sciences of the Czech Republic) Yoshiaki SUGIMOTO (University of Tokyo)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2016년 한국진공학회 IVC-20 (제51회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2016.8
수록면
202 - 202 (1page)

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