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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2014.3
- 수록면
- 119 - 127 (9page)
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본 논문에서는 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 가속도센서를 위한 CMOS readout 회로를 설계하였다. 설계된 CMOS readout 회로는 MEMS 가속도 센서, 커패시턴스-전압 변환기(CVC), 그리고 2차 스위치드 커패시터 ∑Δ 변조기로 구성된다. 이들 회로에는 저주파 잡음과 오프셋을 감소시키기 위한 correlated-double-sampling(CDS)와 chopper-stabilization(CHS) 기법이 적용되었다. 설계 결과 CVC는 150mV/g의 민감도와 0.15%의 비선형성을 갖는다. 설계된 ∑Δ 변조기는 입력전압 진폭이 100mV가 증가할 때, 출력의 듀티 싸이클은 10%씩 증가하며, 0.45%의 비선형성을 갖는다. 전체 회로의 민감도는 150mV/g이며, 전력소모는 5.6mW이다. 제안된 회로는 CMOS 0.35um 공정을 이용하여 설계하였고, 공급 전압은 3.3V이며, 동작 주파수는 2MHz이다. 설계된 칩의 크기는 PAD를 포함하여 0.96mm×0.85mm이다.
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참고문헌 (13)
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1. [보고서] - H.-S. Park / 2007 / Technology of an accelerometer for portable electronic devices
2. [학술대회논문] - N. Yazdi / 2004 / Precision readout circuits for capacitive microaccelerometers / Proceedings of IEEE Sensors : 28 ~ 31
3. [학술대회논문] - K. Xiaofei / 2010 / A fully-differential Chopper-Stabilized Sigma-Delta Interface for Micro Accelerometer / ICMET : 726 ~ 729
4. [학술대회논문] - C,-P, Huang / 2011 / Integration and implementation of CMOS-MEMS accelerometer and capacitive sensing circuits / 2011 IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems : 543 ~ 546
5. [학술대회논문] - T.-T. Zhang / 2012 / An offset-compensated switched-capacitor interface circuit for closed-loop MEMS capacitive accelerometer / 2012 IEEE 11th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology : 1 ~ 3
2. [학술대회논문] - N. Yazdi / 2004 / Precision readout circuits for capacitive microaccelerometers / Proceedings of IEEE Sensors : 28 ~ 31
3. [학술대회논문] - K. Xiaofei / 2010 / A fully-differential Chopper-Stabilized Sigma-Delta Interface for Micro Accelerometer / ICMET : 726 ~ 729
4. [학술대회논문] - C,-P, Huang / 2011 / Integration and implementation of CMOS-MEMS accelerometer and capacitive sensing circuits / 2011 IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems : 543 ~ 546
5. [학술대회논문] - T.-T. Zhang / 2012 / An offset-compensated switched-capacitor interface circuit for closed-loop MEMS capacitive accelerometer / 2012 IEEE 11th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology : 1 ~ 3
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