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학술저널
저자정보
Young-Man Choi (Ajou University) Dahoon Ahn (Korea Railroad Research Institute) Dae-Gab Gweon (Korea Advanced Institute of Science and Technology) Moon Gu Lee (Ajou University)
저널정보
한국자기학회 Journal of Magnetics Journal of Magnetics Vol.21 No.3
발행연도
2016.9
수록면
348 - 355 (8page)

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Precision motion stages used in the manufacturing process of flat-panel displays have inevitably low settling performance due to their huge mass and bulky structures. In order to improve the settling performance, several methods of frame vibration compensation have been developed so far. These methods are used to cancel the vibration by imposing a counter force or modifying the resonance mode of the frame of the stage. To compensate the frame vibration, high force actuators are required. In this paper, a mighty voice coil actuator is proposed to generate the counter force against the frame vibration. The proposed voice coil actuator has an axis-symmetric rectangular structure to achieve a large force with simple and low cost fabrication. Also, the voice coil actuator allows radial clearance up to ± 4 mm. Using an optimized design process and a magnetic circuit model, the power consumption is minimized while the required force is obtained. With a power of 322 W, the VCA has been designed to have a maximum force of 574 N with a force constant of 164 N/A. Experimental results verified the force constant of the fabricated voice coil actuator is well matched with the designed value.
#active vibration isolation #voice coil actuator #precision stage

목차

1. Introduction
2. Conceptual Design
3. Modeling and Optimization
4. Experimental Results
5. Conclusions
References

참고문헌 (15)

참고문헌 신청
[학위논문] - A. M. Rankers / 1997 / / 박사 / Univ. Twente, Enschede google schola [기타자료] - CANON / 2005 / US patents, US20050217956 google schola [기타자료] - Nikon / 2005 / US patents, US20050248744 google schola [학술대회논문] - Hirokazu Yoshioka / 2002 / / Proceedings of the 7th International Workshop on Accelerator Alignment google schola [학술지(정기간행물)] - Yi-De Chen / 2005 / / IEEE Trans. Magn 41 : 1149 ~ google schola

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