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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
이민제 (광주과학기술원) Li Shi (University of Texas) 설재훈 (광주과학기술원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 70주년 기념 학술대회
발행연도
2015.11
수록면
828 - 831 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2015

규소 나노접점(Nanoconstrictions)의 열저항 측정
이민제 ,  Li Shi ,  설재훈 대한기계학회 춘추학술대회 2015.11 학술대회자료

2014

실리콘 나노접점(Nanoconstrictions)의 열저항 측정
이민제 ,  A ,  den L. Moo 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2014.11 학술대회자료

초록· 키워드

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A suspended resistor thermometer device has been developed in order to measure the ballistic thermal resistance in silicon, which arises as the characteristic size of a conductor becomes comparable or smaller than its phonon mean free path. By fabricating the measurement device out of silicon on insulator wafer (SOI), it was possible to measure the thermal resistance of a single crystalline silicon nanoconstriction without any interface resistance. Additionally, the finite elements analysis was performed to verify the functionality of the measurement device.
#ballistic thermal resistance(탄도열저항) #nanosized constriction(나노접점) #silicon(규소)

목차

Abstract
1. 서론
2. 디바이스 제작과정
3. 측정방법
4. 측정결과
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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