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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
Yong-Jun Kim (Gyeongsang National University) Sung-Gap Lee (Gyeongsang National University) Jin-Ho Yeo (Gyeongsang National University) Ye-Won Jo (Gyeongsang National University)
저널정보
대한전기학회 Journal of Electrical Engineering & Technology Journal of Electrical Engineering & Technology Vol.10 No.6
발행연도
2015.11
수록면
2,364 - 2,367 (4page)

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In this study, we fabricated an electrolyte-insulator-metal (EIM) device incorporating a high-k Al2O3 sensing membrane using a porous anodic aluminum oxide (AAO) through a two-step anodizing process for pH detection. The structural properties were observed by field-emission scanning electron microscopy (FE-SEM) and X-ray diffraction patterns (XRD). Electrochemical measurements taken consisted of capacitance-voltage (C-V), hysteresis voltage and drift rates. The average pore diameter and depth of the AAO membrane with a pore-widening time of 20 min were 123nm and 273.5nm, respectively. At a pore-widening time of 20 min, the EIM device using anodic aluminum oxide exhibited a high sensitivity (56mV/pH), hysteresis voltage (6.2mV) and drift rate (0.25mV/pH).

목차

Abstract
1. Introduction
2. Experimental
3. Results and Discussion
4. Conclusion
References

참고문헌 (16)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2016-560-002155740