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1. 슬러리 이송
2 슬러리 펌핑 관련 선진국 사례
3 슬러리 이송장치
4 맺음말
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
Effect of Slurry Flow in Spray Slurry Nozzle System on Cu CMP
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .02
슬러리의 파이프 유동특성과 연구개발 현황
대한토목학회지
2015 .10
슬러리 소비 감소를 위한 CMP 분위기 제어를 이용한 슬러리 미스트 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
관 내 슬러리의 이상유동 해석
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .11
Identification of Particles in the Slurry Using Optical Method
한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
탈황슬러리 이송용 펌프의 신뢰성 평가를 위한 시험법 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2015 .02
슬러리 펌프의 신뢰성 향상
신뢰성응용연구
2016 .12
CMP 공정에서 슬러리 분사 주입에 따른 슬러리 막 형성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
Process Optimization of Alumina Slurry Coating for Additive Manufacturing of Ceramics
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
석탄 슬러리 제조장치에서 제조된 슬러리 점도 특성
한국에너지기후변화학회 학술대회
2015 .11
Particle detection in the slurry by using optical visualization method
한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
블레이드 기울임각이 슬러리 펌프 성능에 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
슬러리를 이용한 열용사 코팅막의 물리적 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
해수가 슬러리 쉴드 TBM 공법 적용성에 미치는 영향
한국터널지하공간학회 논문집
2019 .01
시멘트 슬러리를 이용한 굴착복구 방안 고찰
한국콘크리트학회 학술대회 논문집
2015 .05
암반구간의 슬러리 쉴드 TBM의 버력운송 파이프 마모에 관한 연구
한국터널지하공간학회 논문집
2017 .01
슬러리 분산 및 혼합시스템에서 로터 형상 최적설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
세리아 슬러리의 분사 두께 분포가 산화막 CMP에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .10
수치해석을 이용한 3D 프린팅용 세라믹 슬러리 코팅 품질 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
산화망간이 첨가된 혼합 연마제 실리카 슬러리의 산화막 CMP 특성
전기전자학회논문지
2019 .12
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