반력 보상 장치를 이용한 초정밀 스테이지의 진동저감에 관한 연구

홍성택; 서창훈; 홍민성; 이문구; 김기현

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저자정보: 홍성택 (아주대학교) 서창훈 (아주대학교) 홍민성 (아주대학교) 이문구 (아주대학교) 김기현 (한국산업기술대학교)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2015 한국생산제조시스템학회 추계학술대회

발행연도: 2015.10

수록면: 260 - 260 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2016

초정밀 스테이지의 해석과 반력 보상 장치의 설계를 통한 진동저감장치에 대한 연구

홍성택 2016.01 학위논문

2015

반력 보상 장치를 이용한 초정밀 스테이지의 진동저감에 관한 연구

홍성택 , 서창훈 , 홍민성 외 2명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2015.10 학술대회자료

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서창훈

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 27 이용수 1,448

홍민성

소속기관 아주대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 자동차공학

논문수 183 이용수 10,352

이문구

소속기관 아주대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 자동차공학

논문수 201 이용수 11,891

김기현

소속기관 한국공학대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 자동차공학 TOP 10% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 1%

논문수 150 이용수 11,833

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