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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1997.6
- 수록면
- 329 - 331 (3page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (2)
1997
As 이온 주입시 Vacancy와 Interstitial 형성 및 Cluster가 포함된 격자의 구조와 안정성에 대한 MDS 연구 ( Formation of Vacancy and Interstitial · Structure and Stabilities of As Cluster in Silicon : Moleular Dynamics Simulation )
강정원
,
손명식
,
강유석
외 2명
대한전자공학회 학술대회
1997.07
학술대회자료
As 이온 주입시 vacancy와 interstitial 형성 및 Cluster가 포함된 격자의 구조와 안정성에 대한 MDS(Molecular Dynamics Simulation) 연구
강정원
,
손명식
,
강유석
외 2명
대한전자공학회 학술대회
1997.06
학술대회자료
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목차
요약
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 시뮬레이션을 위한 물리적인 조건
Ⅲ. 시뮬레이션 구조
Ⅳ. 시뮬레이션 결과
Ⅳ. 결론
참고문헌
참고문헌 (0)
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