박막 SiO에서의 덫치기 밀도와 포획 단면적 ( Trap Density and Capture Cross Section in Thin Film SiO )

이은주 ,  김기완 ,  마대영

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

이산화규소박막의 덫치기밀도와 포획단면적

마대영 ,  김기완 ,  이우일

대한전자공학회 학술대회

1983 .11

Si$O_{2}/{Si}_{0.7}{Ge}_{0.3}/SiO_{2}$계에서의 계면응집현상에 의한 양자점 형성에 관한 연구

윤태식 ,  권장연 ,  이동훈 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

포획준위 밀도 측정을 통한 열증착한 일산화규소 박막과 고주파 스펏터링한 이산화규소 박막의 특성 비교 ( Comparison of Characteristics Between Thermal Evaporated SiO and rf Sputtered SiO2 Thin Films by Trap Density Measurements )

마대영 ,  김기완

전자공학회논문지

1987 .07

슬젤법에 의해 제작된 SiO₂ 박막 특성 분석

유도현

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .11

솔젤법에 의해 제작된 SiO₂ 박막의 물성에 관한 연구

柳道鉉

전기학회논문지 C

2004 .11

SiO2박막의 열적 질화 ( Thermal Nitridation of Thin SiO2 Film )

이용수 ,  이용현 ,  손병기

전자공학회논문지

1988 .11

N₂O 가스에서 열산화한 SiO₂막의 특성

김동석 ,  최현식 ,  서용진 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

Growth and Analysis of Intermediate SiO2 for the CeO2 / SiO2 Structure

김종걸 ,  한기평 ,  송인재 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

SIMS를 이용한 SiO₂/PSG/SiO₂/Al-1%Si 및 SiO₂/TEOS/SiO₂/Al-1%Si 적층 박막내의 Na 게터링 분석

김진영

한국표면공학회지

2018 .04

산소 이온빔을 이용한 SiO₂ 박막 후처리 연구

이승훈 ,  강용진 ,  김종국 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .05

RF 스퍼터링을 이용한 SiO2 / Ta2O5 , SiO2 / ZrO2 박막의 무반사 특성 ( Anti-Reflection Characteristic of SiO2 / Ta205 , SiO2 / ZrO2 Film using the RF Sputter )

이풍엽 ,  임우택 ,  이진규 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

CaO/SiO₂, SiO₂/Al₂O₃, Fe₂O₃/SiO₂ 비 변화에 따른 소각전처리 없는 건조슬러지의 용융특성 및 냉각조건 변화에 따른 슬래그특성

배정석 ,  이상원 ,  염훈식 외 2명

대한환경공학회 학술발표논문집

2008 .12

SiO₂/SOI 구조의 계면트랩밀도 측정

강희성 ,  이석하 ,  안창근 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

SiO2 / SOI 구조의 계면트랩밀도 측정 ( Evaluation of Interface Trap Density of SiO2 / SOI Structure )

강희성 ,  이석하 ,  안창근 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

SiO₂ 절연박막에 의해서 바나듐옥사이드 박막이 전도성이 높아지는 원인분석

오데레사

한국산학기술학회 논문지

2018 .08

SiO₂ 박막 클리닝(Cleaning)시 효율 개선에 관한 연구

최지성 ,  박민근 ,  이치영 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05