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장재형 (경북대학교) 서보균 (경북대학교) 안시현 (경북대학교) 이헌복 (경북대학교) 함성호 (경북대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2007년도 추계학술대회 논문집Ⅱ
발행연도
2007.11
수록면
413 - 414 (2page)

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In this paper, a 3-dimensional MOSFET was fabricated was self-aligned contacts. we formed oxide spacer and nitride spacer. After etching out the sacrificial oxide spacer completely between fin side and nitride spacer, the ultra narrow ... 전체 초록 보기

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