Nano Scale Characterizations of Semiconductor Materials and Devices with SPM

홍재완; 박상일

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 홍재완 박상일

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집) 제5권

발행연도: 1998.1

수록면: 27 - 28 (2page)

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