Current Techniques and Future Trends of TEM Sample Preparation in the Semiconductor and Micro-Electronics industries

정영우; 김현하; 이정수

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정영우 김현하 이정수

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집) 제5권

발행연도: 1998.1

수록면: 15 - 16 (2page)

이용수

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