메틸 또는 페닐기가 포함된 siloxane SOG 박막의 열처리 특성에 관한 연구

남철우; 우성일

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 남철우 우성일

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집) 제1권

발행연도: 1994.1

수록면: 101 - 102 (2page)

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