마스크 패턴데이터로 부터의 회로 파라미터 추출에 관한 연구 ( A Study on Circuit Parameter Extraction form Mask Pattern Data )

이재성; 노승룡; 김철주

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이재성 노승룡 김철주

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (전기/전자공학) 제2권

발행연도: 1987.7

수록면: 1,532 - 1,535 (4page)

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