헤테로다인 광간섭 노광을 이용한 멀티스케일 나노공정

강봉철; 노지환; 양민양

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 강봉철 (금오공과대학교) 노지환 (한국기계연구원) 양민양 (한국과학기술원)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2015 한국생산제조시스템학회 춘계학술대회 -생산제조대연합-

발행연도: 2015.4

수록면: 109 - 109 (1page)

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강봉철

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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J. W. Noh

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 전기전자공학 > 제어계측공학

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양민양

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

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