The Investigation on the Instability of Amorphous-Oxide-Semiconductor Thin-Film-Transistors Annealed by Conventional Thermal annealing and Microwave Irradiation

김도훈; 임철민; 조원주

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김도훈 (광운대) 임철민 (광운대) 조원주 (광운대)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제48회 동계정기학술대회초록집

발행연도: 2015.2

수록면: 309 - 309 (1page)

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