Improved Plasma Resistance of Ultralow Dielectrics by Cyclic Reactive Porogen

조성민 ,  김원기 ,  이희우

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .04

Plasma Damage Protection Processes for Nanoporous Ultralow Dielectrics

조성민 ,  양태경 ,  이희우

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .04

Post - Treatment to Improve the Mechanical Properties of Nanoporous Ultralow Dielectric Materials

송승현 ,  김원기 ,  이희우

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .04

Effect of Carbon Contents on O₂ Plasma-induced Damage to Nanoporous Ultralow Dielectrics

Sung-Min CHO ,  Tae-Kyung YANG ,  Hee-Woo RHEE

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .10

Effect of porogen structure on nanoporous organosilicate thin film with Low dielectric constant

이준구 ,  주상현 ,  이몽섭 외 5명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2001 .04

Enhancement of Mechanical Properties of Nanoporous Ultralow Dielectrics by Ozone Treatment

최현상 ,  박건우 ,  이용준 외 1명

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2008 .04

Enhanced Plasma-Induced Damage Resistance of Nanoporous Ultralow Dielectrics by Increased Carbon Content

조성민 ,  이희우

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .10

The Effect of Ozone Treatment on Nanoporous Ultralow Dielectric Materials Depending on Copolymer Composition

강일용 ,  송승현 ,  이희우

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .04

Synthesis and Properties of Porogen-grafted Polysilsequioxanes for Low Dielectric Films

김형은 ,  김운천 ,  노현욱 외 5명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .10

Characterization of Electrical Reliability of Ultralow Dielectric Materials

이용준 ,  최현상 ,  신보라 외 4명

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2008 .04

Synthesis and characterization of porogen bridged silsesquioxane polymers for Ultra low Dielectric Films

장성신 ,  심재환 ,  David W Gidley 외 4명

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2010 .04

Ultralow-k nanoporous organosilicate dielectric films imprinted with dendritic spheres

Byeongdu Lee ,  Yong-hee Pa ,  k 외 3명

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2006 .10

Effect of UVT Treatment on Nanoporous Ultralow Dielectrics

신보라 ,  최현상 ,  김범석 외 1명

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2009 .04

CHARACTERIZATION OF NANOPOROUS STRUCTURE IN LOW-K THIN FILMS

주상현 ,  이준구 ,  김연상 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2000 .10

The effect of interaction of MSSQ copolymer and porogen on nanoporous low-K thin film structure

최연승 ,  김상율 ,  진문영 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .10

Enhanced Mechanical Properties of Nanoporous Ultralow Dielectrics by Posttreatments

송승현 ,  김원기 ,  이희우

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .10

New Spin-on Ultralow Dielectrics for reduced Plasma Damage

김원기 ,  김진옥 ,  조성민 외 1명

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2013 .10

Mechanical Properties and Molecular Structures of Ultralow Dielectrics by Post-treatments

김원기 ,  김진옥 ,  조성민 외 1명

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2013 .04

Scattering Studies of Nanoporous Organosilicate Thin Films Imprinted with Reactive Star Porogens

T. J. Lee ,  B. Lee ,  W. Oh 외 6명

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2006 .10

Novel Organic-Inorganic Hybrid Block Copolymers and Their Use as a Porogen for Ultra-Low-Dielectric Films

김국지 ,  Pat ,  ick Theato 외 2명

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2004 .04