A novel characterization of nanoporous structures in ultra Low-k films using TappingMode-AFM

주상현; 김연상; 이준구; 차국헌; 진문영; 윤도영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 주상현 김연상 이준구 차국헌 진문영 윤도영

저널정보: 한국고분자학회 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 한국고분자학회 2001년도 춘계학술대회 연구논문 초록집

발행연도: 2001.4

수록면: 58 - 58 (1page)

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