A study on evaporation of photogenerated acid and base additives in hemically amplified positive resisits

김진백; 권영길; 최재학

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김진백 권영길 최재학

저널정보: 한국고분자학회 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 한국고분자학회 1998년도 추계학술대회 연구논문 초록집

발행연도: 1998.10

수록면: 264 - 264 (1page)

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