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ArF용 레지스트에 사용 가능한 Alicyclic group을 함유한 공중합체의 합성
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
1998 .10
엑사이머ㆍ레이저의 研究와 應用
전기의세계
1984 .06
엑사이머 레이저를 이용한 실리콘웨이퍼의 미세가공
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1997 .05
엑사이머 레이저가공에서의 빔변수의 영향 ( Effects of Beam Parameters on Excimer Laser Machining )
대한기계학회 춘추학술대회
1997 .01
Dynamics of ARF regulation that control senescence and cancer
BMB Reports
2016 .01
엑사이머 레이저 여기용 자기스위치 시스템 개발
전기학회논문지
1989 .10
다층 레지스트 구조를 위한 하층 레지스트의 최적화 ( OPTIMIZATION OF BOTTOM LAYER RESIST FOR MLR PROCESS )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
실리콘 함유 말레이미드 단량체의 합성과 공중합 및 레지스트 특성
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
1995 .10
엑사이머ㆍ레이저 여기용 전자ㆍ빔 축적에너지 측정
대한전기학회 학술대회 논문집
1984 .07
엑사이머 레이저를 이용한 마이크로렌즈 제작
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2003 .02
실리콘기가 도입된 화학증폭형 감광성 이미드의 합성과 물성에 관한 연구
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2000 .04
t - BOC 보호 포스파젠 용해억제제를 이용한 포지티브형 화학증폭성 레지스트
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
1991 .10
엑사이머 레이저를 이용한 폴리머 미세가공에 대한 모델링
한국레이저가공학회 학술대회 논문집
2001 .01
방전여기 KrF 엑사이머 레이저의 증폭특성 ( A Study of Amplification for Discharge Excited KrF Excimer Laser )
대한전자공학회 학술대회
1990 .01
폴리비닐페놀 ( PVP ) 을 이용한 원자외선 ( KrF 엑사이머 레이저 ) 용 포토레지스트의 합성과 특성 연구
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
1995 .10
엑사스케일 시스템
정보과학회지
2016 .02
레이저 응용기술 특집에 즈음하여
전기의세계
1993 .06
엑사이머 레이저 여기용 고반복 펄스압축 시스템 개발에 관한 연구 ( Development of multi-repetitive pulse compression system for excimer laser excitation )
대한전자공학회 학술대회
1989 .01
엑사이머 레이저를 이용한 웨이퍼 크리닝에 관한 고찰
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2000 .05
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