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한국신재생에너지학회 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 한국신재생에너지학회 2011년도 추계학술대회 초록집
발행연도
2011.11
수록면
52 - 52 (1page)

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본 연구의 목적은 CIGS 태양전지의 두 가지 TCO층 중 AZO를 제외한 intrinsic ZnO의 전자빔 처리 영향에 대한 특성 분석을 하고자 함이다. 또한 추후 CIGS 태양전지를 제조하여 적용 시 전자빔 처리 전후의 특성이 어떻게 변하는지를 알아보기 위한 사전 실험이다. Intrinsic ZnO는 RF magnetron sputter 를 이용하여 약 100nm의 두께로 증착 하였다. 이때 공정 압력을 변수로 RF power는 80W로 설정 하였으며 Ar 분압은 10mtorr, 5mtorr, 1mtorr로 각각 달리 하며 증착 하였다. 이후 전자빔 처리를 위해 각각의 시편에 Argon flow 7sccm 상태에서 DC power 3kW, RF power 300W ... 전체 초록 보기
#스퍼터 #전자빔 #CIGS태양전지 #sputter #electron beam #intrinsic ZnO #CIGS solar cell

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i-ZnO층의 두께에 따른 CIGS 박막 태양전지의 성능 변화 연구
차정화 ,  전찬욱 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2016 .05
RF 스퍼터링법에 의한 태양전지용 textured ZnO : Al 투명전도막 제조
이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 3명 한국태양에너지학회 학술대회논문집 1999 .04

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