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아크릴 공중합체의 구조와 다관능성 단량체의 관능성 및 함량을 조절하여 반도체 제조공정에 적합한 자외 선 경화형 점착제를 제조하였다. 아크릴 공중합체는 점착력을 부여하는 기본수지로 사용되었고 다관능성 단량 체는 광가교 특성으로 인하여 3차원 가교구조와 가교밀도를 변화시키기 위해 사용하였다. 아크릴 공중합체는 단량체 조성에서 2-ethylhexyl acrylate의 함량이 감소할수록 자외선 조사 후의 박리 점착력이 감소하였다. 광경 화 특성을 갖는 다관능성 단량체의 탄소 이중결합 관능성이 증가할수록 자외선 조사 후 가교밀도가 증가하여 박리 점착력이 감소하였고 박리 후 웨이퍼 표면에 남게 되는 점착제 잔사물도 크게 감소하였다. 6관능성 단량 체를 20 phr 포함하는 광가교형 감압점착제가 자외선 조사 전 점착력이 높고, 자외선 조사 후 박리 점착력이 낮 고, 박리 후 웨이퍼 표면에 남게 되는 점착제 잔사물이 가장 적었다.
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1. [단행본] - D. Satas / 1989 / Handbook of Pressure Sensitive Adhesive Technology / Van Nostrand Reinhold
2. [단행본] - I. Benedek / 2004 / Pressure-Sensitive Adhesive and Applications / Marcel Dekker
3. [학술지(정기간행물)] - 유종민 / 2009 / 아크릴계 점착제와 초박형 웨이퍼소재와의 점착특성 - 아크릴 중합체의 측쇄의 영향 - / 접착 및 계면 10 (3) : 134 ~ 140
4. [학술지(정기간행물)] - M. Nakazawa / 2000 / / J. Adh. Soc. Jap. 36 : 28 ~
5. [학술지(정기간행물)] - 이준모 / 2010 / 폴리우레탄 나노복합 발포체의 열적 성질 및 흡음 특성 / 접착 및 계면 11 (1) : 3 ~ 8
2. [단행본] - I. Benedek / 2004 / Pressure-Sensitive Adhesive and Applications / Marcel Dekker
3. [학술지(정기간행물)] - 유종민 / 2009 / 아크릴계 점착제와 초박형 웨이퍼소재와의 점착특성 - 아크릴 중합체의 측쇄의 영향 - / 접착 및 계면 10 (3) : 134 ~ 140
4. [학술지(정기간행물)] - M. Nakazawa / 2000 / / J. Adh. Soc. Jap. 36 : 28 ~
5. [학술지(정기간행물)] - 이준모 / 2010 / 폴리우레탄 나노복합 발포체의 열적 성질 및 흡음 특성 / 접착 및 계면 11 (1) : 3 ~ 8
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