헥사메틸디실록산의 플라즈마중합 : 기판온도의 영향 :기판온도의 영향

이기풍; 박수영; 김낙중; 송석규

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이기풍 박수영 김낙중 송석규

저널정보: 한국고분자학회 폴리머 폴리머 제15권 제1호

발행연도: 1991.2

수록면: 88 - 94 (7page)

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