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With a conventional positioning apparatus, it is very difficult simultaneously to achieve desired driving ranges and precision levels at the sub-micrometer level. Generally, a lead screw and friction drive have been used as servo control systems. These have large driving ranges, and high-speed positioning is feasible. In this study, we present a global servo system controlled by a laser interferometer acting as a displacement measurement sensor for achieving positioning accuracy at the sub-micrometer level.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 주축최적설계
3. 고 정밀 선반 본체 설계
4. 결론
REFERENCES
참고문헌 (4)
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1. [학술지(정기간행물)] - Wang, Y. / 2011 / Ultra-precision machining of Fresnel microstructure on die steel using single crystal diamond tool / Journal of materials processing technology 211 (12) : 2152 ~ 2159
2. [학술지(정기간행물)] - Ikawa, N. / 1991 / Ultraprecision Metal Cutting-the Past, the Present and the Future / CIRP annals manufacturing technology 40 (2) : 587 ~ 594
3. [학술지(정기간행물)] - HLeung, T. P. / 1998 / Diamond turning of silicon substrates in ductile-regime / Journal of materials processing technology 73 (1/3) : 42 ~ 48
4. [학술대회논문] - Yu, J. / 1994 / Ultraprecision diamond turning of optical crystals / Proceedings of SPIE-the international society for optical engineering : 51 ~ 61
2. [학술지(정기간행물)] - Ikawa, N. / 1991 / Ultraprecision Metal Cutting-the Past, the Present and the Future / CIRP annals manufacturing technology 40 (2) : 587 ~ 594
3. [학술지(정기간행물)] - HLeung, T. P. / 1998 / Diamond turning of silicon substrates in ductile-regime / Journal of materials processing technology 73 (1/3) : 42 ~ 48
4. [학술대회논문] - Yu, J. / 1994 / Ultraprecision diamond turning of optical crystals / Proceedings of SPIE-the international society for optical engineering : 51 ~ 61
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